Характеристики и описание
- Страна производительЯпония
Описание:
Серия RE включает в себя профессиональные модели линейки Lambda Ace. Данные системы предназначены для использования с полупроводниковыми пластинами 100/150/200/300 мм.
Каждая система оснащена спектроскопическим эллипсометром.
Модели серии RE объединяют в себе спектральный рефлектометры одночастотные эллипсометры, что позволяет использовать необходимый метод измерения для каждой конкретной пленки. Кроме того, модели серии имеют функцию удаления органического материала и управления нагрузкой, благодаря чему системы можно использовать с различными материалами.
Установка RE-3300 расширяет границы измерений в пределах длин волн. Добавлена возможность создания новых рецептов и использования ПО для анализа.
Конфигурации системы
|
Спектроскопический рефлектометр |
Спектроскопический эллипсометр |
Спектрометрический эллипсометр |
Распознавание образца |
|
|
RE-3100 |
O |
O |
O |
O |
|
RE-3300 |
O |
- |
O |
O |
Технические характеристики:
|
|
RE- 100 |
RE-3300 |
|
Размер пластины |
ø100 мм, ø150 мм, ø200 мм, ø300 мм |
|
|
Функция |
Пользовательское определение программ измерения толщины пленки. Статистическая обработка данных измерения. |
|
|
Спектроскопический рефлектометр |
Измерение пленки толщиной 10 нм или толще. Измерение толщины многослойных пленок. (Максимум 9 слоев. Максимум 4 слоя для одновременного измерения). |
|
|
Одночастотный эллипсометр |
Измерение пленок толщиной 0-60 нм |
- |
|
Спектроскопический эллипсометр |
Измерение толщины от 0 до 1 мкм, оптическая константа (коэффициент преломления, коэффициент поглощения.) Измерение многослойных пленок (максимум 9 слоев, максимум 4 слоя для одновременного измерения). Анализ шероховатости поверхности. |
Измерение толщины от 0 до 3 мкм, оптическая константа (коэффициент преломления, коэффициент поглощения). Измерение многослойных пленок (максимум 12 слоев. Максимум 8 слоев для одновременного измерения). Анализ шероховатости поверхности. |
|
Размер пятна |
||
|
Спектроскопический рефлектометр |
ø20 мкм, ø10 мкм, ø5 мкм, ø2 мкм (опция) |
ø10 мкм, источник УФ-подсветки ø 13.4 мкм |
|
Одночастотный эллипсометр |
40 мкм |
- |
|
Спектроскопический эллипсометр |
ø3.00 мм |
ø3.00 мм х ø6.00 мм (60 градусов) |
|
Диапазон измерения |
||
|
Спектроскопический эллипсометр |
от 10 нм до 20 мкм |
от 10 нм до 20 мкм, источник УФ-подсветки; от 0 нм до 20 мкм |
|
Одночастотный эллипсометр |
от 0 до 60 нм |
- |
|
Спектроскопический эллипсометр |
от 0 до 1 мкм |
от 0 до 3 мкм |
|
Длина волны измерения |
||
|
Спектроскопический рефлектометр |
от 400 нм 800 нм |
от 400 нм до 800 нм , источник УФ-подсветки, от 220 нм до 800 нм |
|
Одночастотный эллипсометр |
640 нм |
- |
|
Спектроскопический эллипсометр |
от 200 нм до 800 нм |
от 370 нм до 1000 нм Опция: Глубокий УФ: 193 нм~, УФ: 245 нм~ ИК: ~1,690 нм |
|
Воспроизводимость измерения (ð) |
||
|
Спектроскопический рефлектометр |
0.1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3,000 нм) 0.03 % (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм) 0.2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм; метод P&V) |
|
|
Одночастотный эллипсометр |
0.008 нм (критерий; ð) |
- |
|
Спектроскопический эллипсометр |
0.03 нм (критерий; ð) |
0.02 нм (толщина пленки от 10 нм до 1000 нм) (критерий; ð) |
Система эллипсометрического измерения толщины пленки SCREEN RE-3100/3300
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии